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加快材料研究的突破性进展，您的实验室需要一台具备快速准确分析大量材料微观结构的扫描电镜。第六代 Phenom ProX 台式扫描电镜引入了全新一代操作系统，通过改进光路设计，将分辨率提升到新高度。能谱操作界面与能谱算法进一步升，易于操作，元素分析更快速。
研究样品时，得到样品的形貌信息只是解决了一半问题。获得样品的元素组分信息往往也是非常必要的。借助全面集成、特殊设计的能谱探测器，飞纳电镜能谱一体机 Phenom ProX 可以完善解决上述所有问题。
能谱仪是一种基于样品被电子束激发而产生 X 射线的分析仪器。Phenom 的能谱仪无论软件、硬件都是完全集成设计在飞纳电镜能谱一体机 Phenom ProX 系统中。
Element Identification (EID) 软件可以使用户实现多点分析，检测样品的元素组分。此外，该软件还可以扩展到元素分析线面扫（mapping）功能。分步操作界面可以帮助用户更方便地收集、导出分析数据。
Phenom ProX 主要技术参数
| 电子放大 | 高 350,000 X |
| 分辨率 | 优于 6 nm |
| 光学导航相机 | 彩色 |
| 加速电压 | 4.8 kV - 20.5 kV 连续可调 |
| 真空模式 | 标准模式 降低荷电效应模式 |
| 探测器 | 背散射电子探测器 |
| 样品尺寸 | 大直径 32 mm |
| 样品高度 | 高 100 mm |
