CD875 Nanofics 低压等离子表面处理设备

反应舱

材料: 铝
有效尺寸: 1000 x 1260 x 695mm
容积: 875L
舱门: 装有可视窗口
托盘: 4个  尺寸: 858 x 672mm, 托盘间距: 220mm

真空度测量

Baratron真空计

真空泵

干式真空泵泵组

频射发生器

根据客户应用需求定制

控制系统

PLC可实现下列功能:

• 自动控制反应过程;
• 根据处理材料设定不同的处理工艺参数;
• 测定真空泵压力、抽真空时间、充气速度、工作压力、处理时间、温度、频射发生器输入电压等指标;
• 监测所有的运行指标, 保证各项参数在设定范围之内;
• 设定操作进入密码。

电源

380V AC, 三相, 50Hz, 40A

反应气体

一个气体输入端口, 含气体流量控制器（MFC）

气体输入

直径1/4英寸（6.45mm） 管道; 输入压力: 1Bar

尾气排放

直径28mm 输出端口

性能

急停开关; 真空泵保护锁; 高温保护锁; CE认证。