Nanoscope Systems NS3600三维激光共聚焦显微镜
这是测量和检查微观3D结构有前途的解决方案,例如半导体晶圆,FPD产品,MEMS器件,玻璃基板和材料表面。
Features & Benefits(性能及优势):
高分辨无损伤光学3D测量
自动倾斜补偿
实时共焦成像
简单的数据分析模式
多种光学变焦 双Z扫描
大范围拼接
半透明基材的特征检测
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