NS3500 高速3D激光共聚焦显微镜

NS3500三维激光共聚焦显微镜

NS-3500是一种精确、可靠的三维(3D)测量高速共焦激光扫描显微镜(CLSM)。通过快速光学扫描模块和信号处理算法实现实时共焦显微图像。在测量和检测微观三维结构，如半导体晶片，FPD产品，MEMS设备，玻璃基板，材料表面等方面拥有无可比拟的解决方案。

Features & Benefits (性能及优势）

高分辨率无损伤光学3D测量

自动倾斜补偿

实时共焦成像

简单的数据分析模式

多种光学变焦

双Z扫描

大范围拼接

半透明基材的特征检测

实时CCD明场和共聚焦成像

无样品准备

Software (软件）：

Application field（应用领域）：

NS-3500是测量低维材料的有前途的解决方案。

可测量微米和亚微米结构的高度，宽度，角度，面积和体积，例如

-半导体:IC图形，凹凸高度，线圈高度，缺陷检测，CMP工艺

- FPD产品:触摸屏屏幕检测，ITO图案，LCD柱间距高度

- MEMS器件:结构三维轮廓，表面粗糙度，MEMS图形

-玻璃表面:薄膜太阳能电池，太阳能电池纹理，激光图案

-材料研究:模具表面检测，粗糙度，裂纹分析