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上海伯东代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 线性离子源使用 eH 400 做为模组, 能应用于宽范围的衬底, 离子源长度高达 1 米, 通过严格调整模组间的距离可以实现最佳的均匀性和离子流. 由于模组是平行放置, 大大简化了气体, 功率和电子三者的分布.
KRI 线性离子源使用标准的端部霍尔模组并使设备的需求简化, 一个低成本, 高电流和低能量的离子束可以很好的使用于 web 涂层, in-line 沉积和圆柱旋转溅射系统.
尺寸: 直径= 3.7“ 高= 3”
放电电压 / 电流: 50-300eV / 5A
操作气体: Ar, Xe, Kr, O2, N2, 有机前体
伯东KRI 霍尔离子源 eH Linear 技术参数：
型号
eHL400-2/ eHL400-3/ eHL400-4/ eHL400-5
供电
DC magnetic confinement
- 电压
40-200V VDC
- 阳极结构
模块化
电源控制
eHL-30010A
配置
-
- 阴极中和器
Filamentless
- 离子束发散角度
> 45° (hwhm)
- 阳极
标准或 Grooved
- 底座
移动或快接法兰
- 高度
10 cm
宽度
10 cm
- 长度
~ 100cm
-工艺气体
Ar, Xe, Kr, O2, N2, Others
Model
eHL 200-3
eHL 200-5
Height (nominal)
2.9” (7.4cm)
2.9” (7.4cm)
Width (nominal)
3.3” (8.4cm)
3.3” (8.4cm)
Length (nominal)
Determined by number of modules & application
Determined by number of modules & application
Cathode/Neutralizer
Yes
Yes
Anode module
Yes
Yes
Filamentless
Yes
Yes
Orientation
Vertical / Horizontal
Vertical / Horizontal
Process gases
Inert, reactive, & organic
Inert, reactive, & organic
Power controller
eH Plasma Power Pack
eH Plasma Power Pack
