快速退火炉

RTP快速退火炉的详细描述：

该RTP快速退火炉采用：

■多重灯管设计以保证温度均匀
■ 实时闭环温度控制方式
■ 实时灯丝电流监测以保证工艺稳定可靠性
■ 安全监测，包括热偶测温检测、过热检测、灯丝电流检测
■ 用户操作界面，使用非常简便
■ 软件全自动控制工艺过程，操作简单，包括用户分级使用权限管理
■ 菜单编辑、工艺数据记录/查找、报警/报错、用户状态等功能

RTP快速退火炉的主要技术参数如下
加热元件：卤素电极；
电极数量：12支；
整机功率：7.2KW；
升温速率：200℃/Second；
降温速率：30秒(1000℃
→ 400℃)；
最高温度：1100℃；
温度精度：+/-
1℃；
最大样品尺寸：4英寸；
气氛环境：真空、气体（氮气、氩气、氧气）、空气；
真空系统：可根据实际需要选配无油机型泵或者分子泵

应用领域：
-快速热退火
-
快速热氧化
- 快速热氮化
- 硅化
- 扩散
- 化合物半导体退火
- 离子注入后退火
- 电极合金化
-
晶向化和坚化
- 合金熔点分析;
- 薄膜沉积; 等等…