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Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 300
上海伯东德国普发涡轮分子泵 Pfeiffer HiPace 300 抽速可达到 260 l/s 高性能涡轮分子泵. 分子泵紧凑设计保证更高性能. HiPace 300 对所有气体的高抽速和更高压缩比使其广泛应用于真空行业. 涡轮分子泵 HiPace 300 通过保护等级 IP54, 半导体 S2, UL / CSA 认证. 通过控制器监控运算数据尽可能保证分子泵的安全性. 涡轮分子泵 HiPace 300 任意位置安装. 可选风冷或水冷. 多种配件可选.
涡轮分子泵 HiPace 300 特性
分子泵控制器可选 TC 400, TC 110, TCP 350.
防护类型 IP54 满足工业应用
准 S2 和 UL/CSA 认证
监控运行数据保障分子泵运行安全性
另外提供 HiPace 300 P 耐粉尘系列, 因其能抵抗工业粉尘和微小粒子而广泛应用于工业领域和 HiPace Plus 系列专为扫描电子显微镜 (扫描电镜 SEM) 和质谱分析行业量身定做的产品.
Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 300 技术规格
进气口 | DN 100 ISO-K | DN 100 CF-F | DN 100 ISO-F | DN 100 ISO-K | DN 100 CF-F | DN 100 ISO-F | |
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分子泵控制器 | 型号 | 标配 | 标配 | 标配 | 选配 | 选配 | 选配 |
抽速 | Ar L/S | 255 | 255 | 255 | 255 | 255 | 255 |
H2 L/S | 220 | 220 | 220 | 220 | 220 | 220 | |
He L/S | 255 | 255 | 255 | 255 | 255 | 255 | |
N2 L/S | 260 | 260 | 260 | 260 | 260 | 260 | |
压缩比 | Ar | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 |
H2 | 9X105 | 9X105 | 9X105 | 9X105 | 9X105 | 9X105 | |
He | 1X108 | 1X108 | 1X108 | 1X108 | 1X108 | 1X108 | |
N2 | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 | |
全转速时气体流量 | Ar hPa l/s | TC 400: 7 | TC 400: 7 | TC 400: 7 | 4 | 4 | 4 |
H2 hPa l/s | TC 400: 14 | TC 400: 14 | TC 400: 14 | >14 | >14 | >14 | |
He hPa l/s | TC 400: 20 TC 110: 8 | TC 400: 20 TC 110: 8 | TC 400: 20 TC 110: 8 | 11 | 11 | 11 | |
N2 hPa l/s | TC 400: 14 TC 110: 5 | TC 400: 14 TC 110: 5 | TC 400: 14 TC 110: 5 | 7 | 7 | 7 | |
极限压力 | hPa | ＜1X10-7 | ＜5X10-10 | ＜1X10-7 | ＜1x10-7 | ＜5x10-10 | ＜1x10-7 |
最大预抽真空 | N2 hPa | TC 400: 20 | TC 400: 20 | TC 400: 20 | 22 | 22 | 22 |
电压 | VDC | 24 | 24 | 24 | 24 | 24 | 24 |
最大电流 | A | TC 400: 12.5 | TC 400: 12.5 | TC 400: 12.5 | - | - | - |
转速± 2 % | RPM | 60000 | 60000 | 60000 | 60000 | 60000 | 60000 |
声噪 | dB(A) | ≤50 | ≤50 | ≤50 | ≤50 | ≤50 | ≤50 |
允许最大磁场 | mT | 5.5 | 5.5 | 5.5 | 5.5 | 5.5 | 5.5 |
启动时间 | min | TC 400: 1.8 | TC 400: 1.8 | TC 400: 1.8 | 2.5 | 2.5 | 2.5 |
重量 | kg | TC 400: 6.7 | TC 400: 8.7 TC 110: 8.2 | TC 400: 7 TC110: 6.5 | 5.8 | 7.8 | 6.1 |
* 控制器选择 TCP 350, 可以使分子泵在辐射环境中使用
* P 系列: 耐粉尘
* PLUS 系列: 极微振动,杂散磁场低
涡轮分子泵 HiPace 300 H 技术规格
进气口 | DN 100 ISO-K | DN 100 CF-F | DN 100 ISO-F | DN 100 ISO-K | DN 100 CF-F | DN 100 ISO-F | |
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分子泵控制器 | 型号 | 标配 | 标配 | 标配 | 选配 | 选配 | 选配 |
抽速 | Ar L/S | 255 | 255 | 255 | 255 | 255 | 255 |
H2 L/S | 220 | 220 | 220 | 220 | 220 | 220 | |
He L/S | 255 | 255 | 255 | 255 | 255 | 255 | |
N2 L/S | 260 | 260 | 260 | 260 | 260 | 260 | |
压缩比 | Ar | 1X1013 | 1X1013 | 1X1013 | 1X1013 | 1X1013 | 1X1013 |
H2 | 1X107 | 1X107 | 1X107 | 1X107 | 1X107 | 1X107 | |
He | 2.5X109 | 2.5X109 | 2.5X109 | 2.5X109 | 2.5X109 | 2.5X109 | |
N2 | 1X1013 | 1X1013 | 1X1013 | 1X1013 | 1X1013 | 1X1013 | |
全转速时气体流量 | Ar hPa l/s | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
H2 hPa l/s | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 | |
He hPa l/s | 3.5 | 3.5 | 3.5 | 3.5 | 3.5 | 3.5 | |
N2 hPa l/s | 1.5 | 1.5 | 1.5 | 1.5 | 1.5 | 1.5 | |
极限压力 | hPa | ＜1X10-7 | ＜5X10-10 | ＜1X10-7 | ＜1x10-7 | ＜5x10-10 | ＜1x10-7 |
最大预抽真空 | N2 hPa | 30 | 30 | 30 | 30 | 30 | 30 |
电压 | VDC | 24 | 24 | 24 | 24 | 24 | 24 |
最大电流 | A | 7.5A | 7.5A | 7.5A | 7.5A | 7.5A | 7.5A |
转速± 2 % | RPM | 60000 | 60000 | 60000 | 60000 | 60000 | 60000 |
声噪 | dB(A) | ≤50 | ≤50 | ≤50 | ≤50 | ≤50 | ≤50 |
允许最大磁场 | mT | 5.5 | 5.5 | 5.5 | 5.5 | 5.5 | 5.5 |
启动时间 | min | 3.5 | 3.5 | 3.5 | 3.5 | 3.5 | 3.5 |
重量 | kg | 6.2 | 8.2 | 6.5 | 5.8 | 7.8 | 6.1 |
* H 系列: 更高的压缩比,尤其适用于轻质气体
Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 300 套装:
上海伯东提供完整的分子泵套装供您选择, 包含一台 HiPace 300 分子泵主机和控制电源等, 分子泵套装满足基本的应用, 可以安装在所有情况下并轻松调试涡轮分子泵. 套装内配置如下:
分子泵 | 分子泵电源与控制器连接线 | 风扇 | OmniControl 300 | 接口电缆, M12 m 直型/M12 m 直型, 3 m |
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| 接口电缆, M12 m 直型/M12 m 直型, 3 m |
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标准款涡轮分子泵 HiPace 300 在售型号
对所有气体的高抽吸能力和更高压缩,适合所有标准应用
进气口 | 分子泵控制器 | I/O接口 | 集成电源包 | 资料下载 |
DN 100 ISO-K | TC 400 | RS-485, 远程 | - | 中文 PDF |
DN 100 CF-F | TC 400 | RS-485, 远程 | - | 中文 PDF |
DN 100 ISO-F | TC 400 | RS-485, 远程 | - | 中文 PDF |
DN 100 ISO-K | TC 110 | RS-485, 远程 | - | 中文 PDF |
DN 100 CF-F | TC 110 | RS-485, 远程 | - | 中文 PDF |
DN 100 ISO-F | TC 110 | RS-485, 远程 | - | 中文 PDF |
DN 100 ISO-K | 另配 TCP 350 | - | - | 中文 PDF |
DN 100 CF-F | 另配 TCP 350 | - | - | 中文 PDF |
DN 100 ISO-F | 另配 TCP 350 | - | - | 中文 PDF |
DN 100 ISO-K | TC 400 | RS-485, 远程, Profibus | - | 中文 PDF |
DN 100 CF-F | TC 400 | RS-485, 远程, Profibus | - | 中文 PDF |
DN 100 ISO-F | TC 400 | RS-485, 远程, Profibus | - | 中文 PDF |
DN 100 ISO-K | TC 110 | RS-485, 远程, Profibus | - | 中文 PDF |
DN 100 CF-F | TC 110 | RS-485, 远程, Profibus | - | 中文 PDF |
DN 100 ISO-F | TC 110 | RS-485, 远程, Profibus | - | 中文 PDF |
DN 100 ISO-K | TC 110 | RS-485, 远程 | 是 | 中文 PDF |
DN 100 CF-F | TC 110 | RS-485, 远程 | 是 | 中文 PDF |
DN 100 ISO-F | TC 110 | RS-485, 远程 | 是 | 中文 PDF |
DN 100 ISO-K | TC 400 | RS-485, 远程 | - | 中文 PDF |
DN 100 CF-F | TC 400 | RS-485, 远程 | - | 中文 PDF |
DN 100 ISO-F | TC 400 | RS-485, 远程 | - | 中文 PDF |
耐粉尘涡轮分子泵 HiPace 300P 在售型号
适用于镀膜及半导体工艺以及诸如电子束焊接装置等易受灰尘影响的工业应用
进气口 | 分子泵控制器 | I/O接口 | 集成电源包 | 资料下载 |
DN 100 ISO-K | TC 400 | RS-485, 远程 | - | 中文 PDF |
DN 100 CF-F | TC 400 | RS-485, 远程 | - | 中文 PDF |
DN 100 ISO-F | TC 400 | RS-485, 远程 | - | 中文 PDF |
低振动涡轮分子泵 HiPace 300 PLUS 在售型号
极微振动,杂散磁场低,适用于高要求分析设备,例如电子显微镜
进气口 | 分子泵控制器 | I/O接口 | 集成电源包 | 资料下载 |
DN 100 ISO-K | TC 110 | RS-485, 远程 | - | 中文 PDF |
DN 100 CF-F | TC 110 | RS-485, 远程 | - | 中文 PDF |
DN 100 ISO-F | TC 110 | RS-485, 远程 | - | 中文 PDF |
更高的压缩比涡轮分子泵 HiPace 300 H 在售型号
更高的压缩比,尤其适用于轻质气体,实现超高真空
进气口 | 分子泵控制器 | I/O接口 | 集成电源包 | 资料下载 |
DN 100 ISO-K | TC 110 | RS-485, 远程 | - | 中文 PDF |
DN 100 CF-F | TC 110 | RS-485, 远程 | - | 中文 PDF |
DN 100 ISO-F | TC 110 | RS-485, 远程 | - | 中文 PDF |
DN 100 ISO-K | 另配 TCP 350 | - | - | 中文 PDF |
DN 100 CF-F | 另配 TCP 350 | - | - | 中文 PDF |
DN 100 ISO-F | 另配 TCP 350 | - | - | 中文 PDF |
涡轮分子泵应用 HiPace 300
镀膜: 光伏, CD/ DVD/ PVD
工业: 灯管制造
研发: 纳米技术, 生物技术
分析仪器: 电子显微镜, 检漏, 小型质谱, 表面分析, 残余气体分析
半导体: PVD, CVD, Beamline, Inspection
上海伯东 Pfeiffer 涡轮分子泵抽速范围 10 至 2700 L/S, 转速最高 90,000 rpm, 极限真空最大 1E-11 mbar, 对小分子气体具有更高的压缩比, 实践证明 Pfeiffer 涡轮分子泵运行时间可以达到 100,000 小时! 普发分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用, 推荐搭配 Pfeiffer 旋片泵和干泵共同使用. 推荐分子泵典型应用 >>
若您需要进一步的了解分子泵详细信息, 请联络上海伯东邓女士，分机134
