自平衡支架主要参数:
●平面不大于0.10mm/㎡
●表面粗糙度小于0.8um
●固有频率1.0Hz~2.8Hz
●振幅不大于2.2um
本支架可气泵自动充气,自动调节平衡,使用方便,支撑腿直径为220mm,整体高度为600,可调节范围0-70,支撑腿可选择方形!
气浮式支架主要参数:
•平面度不大于0.10mm/㎡
•表面粗糙度小于0.8um~1.6um
•固有频率3Hz~5Hz
•振幅不大于4um
本支架不可自动充气,为人工充气,
支撑腿直径为220mm,整体高度为600,可调节范围0-70,支撑腿可选择方形!