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使用范围：
对半导体制造装置发热部的冷却：
单晶片洗净转载、印刷机、自动夹座安装装置、喷涂装置、离子镀装置、蚀刻装置、单晶片处理装置、切片机、包装机、显影剂的温度管理、露光装置、生磁部分的加热装置等。
对激光装置发热部分的冷却：
激光加工、熔接机的发热部分、激光标志装置、发生装置、二氧化碳激光加工机等。
其他产业用机器发热部分的冷却：
等离子熔接、自动包装机、模具冷却、洗净机械、镀金槽、精密研磨机、射出成型机、树脂成型机的成型部分等。
分析检测机器的发热部分的冷却：
电子显微镜的光源、ICP发光分光分析装置的光源部分、分光光度计的发热部分、X线解析装置的热源、自动脉冲调幅器的发热部分原子吸光光度计的光源等。
产品概述
l 节省水资源，可以使用水兑乙二醇混合液进行循环制冷，节约资源；严密的循环管路设计，防止循环水污染，延长循环水的使用时间；
l 高性能循环泵，可保证每天连续24小时运行；
l PID 温控技术，内置PT100传感器航空插件，保证了温度控制的精确性；
l 成熟的无氟制冷技术；
l 具有自我诊断功能；冷冻机过载保护；高压压力开关，过载继电器、热保护装置等多种安全保障功能；
技术指标：
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型号
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LX-10
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LX-25
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LX-40
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LX-70
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LX-10A
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LX-145
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LX-20A
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温度范围
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-25.0～40.0℃
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温控精度
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±1℃
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制冷量
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20℃
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1000W
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2500W
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4000W
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7000W
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10000W
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14500W
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20000W
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0℃
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700W
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1500W
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2400W
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4000W
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7500W
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10000W
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15500W
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-20℃
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300W
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550W
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800W
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1500W
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3500W
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5000W
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7300W
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泵流量
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20L/min 1.5bar
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50L/min 1.8bar
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安全保护
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具有自我诊断功能；冷冻机过载保护；高压压力开关，过载继电器、热保护装置等多种安全保障功能
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冷却方式
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水冷或风冷
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温度探头
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PT100 控制外围设备
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加注冷媒
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R404A
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整机重量
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75kg
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90kg
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110kg
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135kg
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165kg
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195kg
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240kg
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电源
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AC 220/380V 50/60HZ
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