PlasCalc系列等离子体监控器

PlasCalc系列等离子体监控器
 
测量用等离子体的发射可在仅3毫秒内达到200～1100nm的波长。PlasCals系列监控器为数据的获取提供高级过程控制和精密的数据运算。 

功能特点 

1.0nm（半最大值全波）光学解析度  
200～1100nm波长范围  
快速建立和保存实验方法  
调制步骤编辑 

调制步骤编辑工具可以使用户简单、快速地设置、建立和保存实验方法。利用该工具可以对多数复杂的等离子体过程建立简便而有效的步骤设置：例如测量薄膜沉积情况、监测等离子蚀刻、检查表面清洁处理、分析等离子室健康控制情况、监测反常的污染和排放现象等。 

用于简单的等离子体诊断的多重工具 

PlasCalc型监控器配有操作软件，所提供的完整的公式编辑器可以进行所有需要的数学和算法功能。我们同时提供一个可选配的放射波长数据库，可以另外单独购买，它能够提供种类的鉴定；而波长编辑器则使用户完成信噪比的优化。操作界面包含两个窗口，可以同时显示真实的光谱和所有控制过程信息。 

【光电测量产品】 

 光源  真空紫外光谱仪  订制光谱仪  软X射线光谱仪  拉曼光谱仪  红外\紫外激光观察仪  夜视仪器  HPLC荧光光度计  CCD相机  动态光散射  高速摄影照相机  光纤光谱仪  海洋系列光谱仪  光谱系统  原子力显微镜  探测器  滤光片  红外光谱仪  单色仪  光栅  照度计  光信号电子学仪器  工业内窥镜  薄膜测量  PC示波器  数字记录仪  远红外太赫兹光谱仪  太阳光模拟器  袖珍数码显微镜相机  压电陶瓷  紫外线固化机  紫外反射镜  滤光片测量仪  电动位移台/电控位移台  纳米位移台  光电探测器  均匀光源  

【激光系列产品】 

 光纤激光器  多模泵浦激光器  激光二极管未封装bar  激光二极管冷却装置  激光器电源  氦氖激光器  CO2激光器  半导体泵浦激光器  氩离子激光器  氦镉激光器  氮分子激光器  皮秒激光器  激光二极管电源  激光光谱测量  激光能量计/功率计  激光雕刻、打标、切割机  激光二极管模块  深紫外、紫外固体激光器  信号发生器  超快飞秒激光器  热电制冷产品  激光光束定位系统  激光光束分析仪  视频显微镜测量系统  激光准直器  多通道激光功率计  半导体激光器  激光测距仪  红外激光显示卡  调Q激光器  激光护目镜  光学平台  光学调整架  光学微调架  可调嵌入式光学调整架  倾斜位移台  通用调整台  光学延迟线  手动位移台  XY位移台  光学旋转台  角位移调整台  激光器附件  可变光阑  扩束镜  拉曼激光器  大功率光纤耦合激光器