点击图片查看原图
|
形号 |
Sol161 |
|
量测行程 |
160x160x160mm |
|
外形尺寸 |
545x705x775mm |
|
重量 |
55kg |
|
承载重量 |
9kg |
|
平台材质 |
铝合金 |
|
基座材质 |
铝合金 |
|
传动方式 X&Y |
Steel Cross Roller Bearings |
|
XY 精度 |
U=(2.8+L/150)μm |
|
Z 精度 |
U=(2.8+L/100)μm |
|
XY 重现性 |
U=2.8μm |
|
Z 重现性 |
U=2.8μm |
|
光学尺分辨率 |
1.0μm |
|
影像 |
高分辨率彩色系统 |
|
光源 |
轮廓光,表面光,同轴光 |
|
光学系统/放大倍率 |
6.5:1 光学 Zoom, 0.7-4.5x |
|
量测系统 |
InSpec for Windows Metrology Software |
|
工作环境 |
20℃±2°,30-80% 湿度 |
|
电源系统 |
93-264VAC, 47-63Hz, 10Amp |
