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型号 |
Spectra Bench Optical |
Spectra Floor Optical |
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量测行程 |
300x150x75mm |
300x150x75mm |
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外形尺寸 |
950x1075x1025mm |
950x1075x1775mm |
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重量 |
114kg |
146kg |
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承载重量 |
9kg |
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平台材质 |
钢构 |
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传动方式 X&Y |
Steel Balls And Rods |
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XY 精度 |
Ux=2.5+L/25μm ，Uy=2.5+L/15μm |
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Z 精度 |
U=2.5 μm |
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XY 重现性 |
12.5μm |
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Z 重现性 |
7.5μm |
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光学尺分辨率 |
2.0 μm |
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影像 |
14’’ Erected, Bright And Sharp |
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光源 |
轮廓光,表面光 |
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镜头/放大倍率 |
10x, 20x, 31 1/4x, 40x, 50x, 100x |
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量测系统 |
Q16 Metrology Box 或 Optional Inspec Software |
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工作环境 |
20℃±2°, 30-80% 湿度 |
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电源系统 |
110 或 220 VAC |
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