一、用途:
TGP-40C大平台硅片检测显微镜是适用于对太阳能电池硅片的显微观察。本仪器配有大移动范围的载物台、落射照明器、长工作距离的平场消色差物镜、大视野目镜,图像清晰、衬度好,同时配有偏光装置,及其高像素的数码摄像头.是检测太阳能电池硅片的”金字塔” 的微观形貌分布情况,及硅片的缺陷分析的理想仪器.
硅片检测显微镜可以观察到肉眼难观测的位错、划痕、崩边等;还可以对硅片的杂质、残留物成分分析.杂质包括: 颗粒、有机杂质、无机杂质、金属离子、硅粉粉尘等,造成磨片后的硅片易发生变花、发蓝、发黑等现象,使磨片不合格. 是太阳能电池硅片生产过程中必不可少的检测仪器之一.
二、技术参数
1.目镜
类 别
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放大倍数
|
视场(mm)
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大视野目镜
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10X
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φ18
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2.物镜
类 型
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放大倍数
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数值孔径NA
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工作距离(mm)
|
物镜
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4X
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0.10
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18.3
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10X
|
0.25
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8.9
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PC20X
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0.40
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8.7
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PC40X
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0.65
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3.7
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3.光学放大倍数:40X -- 500X
4.滤色片组:黄色、蓝色、绿色、磨砂玻璃
5.偏光装置:可插入式起偏振片和三目头内置检偏振片
6.载物台:(配有快速移动装置)
尺寸:400*300mm 移动范围:254*254mm[标配]
7.粗微同轴调焦机构,微动手轮格值:0.002mm
8.落射照明器:12V/50W卤素灯,亮度可调
9.防霉:特有的防霉系统
5.偏光装置:可插入式起偏振片和三目头内置检偏振片
6.载物台:(配有快速移动装置)
尺寸:400*300mm 移动范围:254*254mm[标配]
7.粗微同轴调焦机构,微动手轮格值:0.002mm
8.落射照明器:12V/50W卤素灯,亮度可调
9.防霉:特有的防霉系统
10.成像系统:日本专业进口摄像头或500万高像素的数字摄像头
三、系统组成
大平台硅片检测显微镜(TGP-40C): 1.显微镜 2.适配镜 3、进口专业摄像头 4、计算机
四、总放大参考倍数
电脑型硅片检测显微镜(TGP-40C):50--40000倍 (17寸显示器为例)
五、选购件
1.硅片专用测量软件TX-3000C 2.目镜: 20X 10X(带刻度)