应用范围:
对半导体制造装置发热部的冷却:单晶片洗净转载、印刷机、自动夹座安装装置、喷涂装置、离子镀装置、蚀刻装置、单晶片处理装置、切片机、包装机、显影剂的温度管理、露光装置、生磁部分的加热装置等。
对激光装置发热部分的冷却:激光加工、熔接机的发热部分、激光标志装置、发生装置、二氧化碳激光加工机等。
其他产业用机器发热部分的冷却:等离子熔接、自动包装机、模具冷却、洗净机械、镀金槽、精密研磨机、射出成型机、树脂成型机的成型部分等。
分析检测机器的发热部分的冷却:电子显微镜的光源、ICP发光分光分析装置的光源部分、分光光度计的发热部分、X线解析装置的热源、自动脉冲调幅器的发热部分原子吸光光度计的光源等。水箱可用优质的纯净水在机内外循环冷却,可保证对水质要求较高的精密仪器的正常运行,延长精密仪器的使用寿命。
型 号
|
温度范围(℃)
|
温度波动度(℃)
|
工作槽容积(mm3)
|
工作槽开口 (mm2)
|
容 积
(L)
|
循环泵
流量(L/min) |
SL-DC-0506
|
-5~100
|
±0.02
|
250×200×120
|
180×140
|
6
|
6
|
SL-SDC-6
|
-5~100
|
±0.02
|
250×200×150
|
180×140
|
7.5
|
6
|
SL-DC-0510
|
-5~100
|
±0.02
|
250×200×200
|
180×140
|
10
|
6
|
SL-DC-0515
|
-5~100
|
±0.02
|
300×250×200
|
235×160
|
15
|
6
|
SL-DC-0520
|
-5~100
|
±0.02
|
280×250×280
|
235×160
|
20
|
6
|
SL-DC-0530
|
-5~100
|
±0.02
|
400×325×230
|
310×280
|
30
|
13
|
SL-DCW-0506
|
-5~100
|
±0.02
|
250×200×150
|
180×140
|
7.5
|
6
|
SL-DC-0506-II
|
-5~160
|
±0.05~±0.1
|
250×200×150
|
180×150
|
7.5
|
6
|
SL-DC-1015-II
|
-5~160
|
±0.05~±0.1
|
300×250×220
|
235×180
|
15
|
6
|
SL-DC-1020-II
|
-5~160
|
±0.05~±0.1
|
300×250×280
|
235×180
|
20
|
6
|
SL-DC-1006
|
–10~100
|
±0.02
|
250×200×150
|
180×140
|
7.5
|
6
|
SL-DC-1010
|
–10~100
|
±0.05~±0.1
|
250×200×200
|
180×140
|
10
|
6
|
SL-DC-1010-II
|
-10~160
|
±0.02
|
250×200×200
|
180×150
|
10
|
6
|
SL-DCW-1015
|
-10~100
|
±0.02
|
280×250×220
|
235×160
|
15
|
6
|
SL-DC-1015
|
-10~100
|
±0.02
|
280×250×220
|
235×160
|
15
|
6
|
SL-DC-1020
|
-10~100
|
±0.02
|
280×250×280
|
235×160
|
20
|
6
|
SL-DC-1030
|
-10~100
|
±0.02
|
400×325×230
|
310×280
|
30
|
13
|
SL-DC-2006
|
-20~100
|
±0.02
|
250×200×150
|
180×140
|
7.5
|
6
|
SL-DC-2010
|
-20~100
|
±0.02
|
250×200×200
|
180×140
|
10
|
6
|
SL-DC-2015
|
-20~100
|
±0.02
|
300×250×200
|
235×160
|
15
|
6
|
SL-DC-2020
|
-20~100
|
±0.02
|
280×250×280
|
235×160
|
20
|
6
|
SL-DC-2030
|
-20~100
|
±0.02
|
400×325×230
|
310×280
|
30
|
13
|
SL-DCW-2008
|
-20~100
|
±0.02
|
280×250×140
|
235×160
|
10
|
6
|
SL-DC2006-II
|
-20~160
|
±0.05~±0.1
|
250×200×150
|
180×150
|
7.5
|
6
|
SL-DC2010-II
|
-20~160
|
±0.05~±0.1
|
250×200×200
|
180×150
|
10
|
6
|
SL-DC-3006
|
-30~100
|
±0.02
|
250×200×150
|
180×140
|
7.5
|
6
|
SL-DC-3010
|
-30~100
|
±0.02
|
250×200×200
|
180×140
|
10
|
6
|
SL-DC-3015
|
-30~100
|
±0.02
|
300×250×200
|
235×160
|
15
|
6
|
SL-DC-3020
|
-30~100
|
±0.02
|
280×250×280
|
235×160
|
20
|
6
|
SL-DC-3030
|
-30~100
|
±0.02
|
400×325×230
|
310×280
|
30
|
13
|
SL-DC-3005A
|
-30~100
|
±0.02
|
250×200×120
|
180×140
|
6
|
6
|
SL-DCW-3506
|
-35~100
|
±0.02
|
250×200×150
|
180×140
|
7.5
|
6
|
SL-DCW-3510
|
-35~100
|
±0.02
|
250×200×200
|
180×140
|
10
|
6
|
SL-DC-4006
|
-40~100
|
±0.02
|
250×200×130
|
180×140
|
6.5
|
6
|
SL-DC-4010A
|
-40~100
|
±0.02
|
310×210×150
|
185×180
|
10
|
6
|
SL-DC-4010B
|
-40~100
|
±0.02
|
250×200×200
|
180×140
|
10
|
6
|
SL-DC-4015
|
-40~100
|
±0.02
|
300×250×200
|
235×160
|
15
|
6
|
SL-DCW-4006
|
-40~100
|
±0.02
|
250×200×130
|
180×140
|
6.5
|
6
|
SL-DC-5006
|
-50~100
|
±0.02
|
250×200×130
|
180×140
|
6.5
|
6
|
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