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扫描热显微术(SThM)是在原子力显微镜(AFM)基础上，利用对于材料的温度、热导率等的变化进行成像，从而获得样品表面热分布和相关热物理性质等信息的一种微纳米尺度的测试技术。现已在微电子器件、材料等领域得到了日益广泛的应用。
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