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1.扫描系统：
1.1 扫描模式：STM恒流/恒高模式，I-Z/I-V曲线测量
1.2 最大扫描范围：6μm*6μm，单一多量程自适应扫描器不更换技术，单个扫描器可达HOPG原子分辨 精度（科研用STM可选配50/100微米大量程扫描器）
1.3 分辨率：X-Y向0.1nm；Z向0.01nm；HOPG原子定标，单一多量程自适应扫描器不更换技术
1.4 样品台尺寸：直径≤Φ40mm，厚度≤15mm，重量≤15g
1.5 探针识别：自动识别当前针尖类型，软硬件自动切换到相应的工作模式，无需人工干预。
1.6 探针保护：独特设计的针尖保护技术，包括自动进针保护和平滑移动保护，能有效降低样品对针尖的损伤，使仪器长时间保持高分辨图像。
1.7 探针趋近：高精度高速伺服电机，控制针尖自动逼近样品，行程<30mm，步长<23nm
1.8 样品移动：手动精密机械二维移动平台（移动范围5mm×5mm，精度3μm）。
1.9 纳米加工：矢量刻蚀功能 ，图形刻蚀功能
2.控制系统：
2.1 控制/采集精度：采用32位ARM技术，双16位扫描/采样差分同步独立高压放大专利技术，16通道双16 位A/D（精度相当于23位）；12通道16位D/A；4通道双16位D/A（精度相当于23位）
2.2 反馈方式：8通道 数字化反馈+数控模拟反馈
2.3 高压单元：±300V 纹波噪声1.5mV；4通道双16位D/A（精度相当于23位）提供扫描器XYZ三个方向的控制电压；可扩展到8通道
2.4 计算机接口：EPP模式并行口 / USB2.0接口 可选
2.5 扫描频率：0.1～300Hz
2.6 扫描角度：-180?~180?连续可调
2.7 图像采样点：128×128/ 256×256 / 512×512 / 1024×1024 / 2048×2048 可调
2.8 电流检测灵敏度≤10pA
2.9 预置隧道电流：1pA～50nA
2.10 偏置电压：-10～+10V
3.软件系统：
3.1 操作系统：Windows 98/2000/XP
3.2 在线控制软件：四窗口图像界面，可观察4个不同数据通道同步成像;系统智能记忆功能 : 一个参数改变，相关参数会根据系统经验自动调节到最佳范围；压电陶瓷非线 性校正，曲面拟合校正，样品倾斜校正等。
3.3 图像处理软件：3D显示，滤波处理，图像修饰，边缘增强、形态学处理、图像格式转换，图像几何变换、调色板设置等。
3.4 数据分析软件：粗糙度分析，颗粒度分析，剖面分析，膜厚分析、台阶分析、各种曲线统计/分析等。
3.5 软件开发模板：便于用户进行二次开发，完成特殊的数据处理功能。
3.6 软件服务包：软件以插件方式终身享受免费升级服务。
4.工作条件：
4.1 环境温度：0-35摄氏度
4.2 相对湿度：0-65%
4.3 工作电压：220V（±10%），50Hz
