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宏观形貌表征:层数或厚度判定、均匀性分析等 微观形貌表征:表面洁净度、平整性等 原子结构表征:原子缺陷、层间堆垛方式、电子能带结构等 光学性能表征:紫外到红外波段透射、反射、吸收性能等 电学性能表征:方块电阻、迁移率、掺杂浓度等 力学性能表征:应力应变,杨氏模量等 热学性能表征:平面热传导、界面热导性能等 电化学性能表征:比表面积、电容电池特性等 [详细介绍]
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