整体式3D表面测量仪
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整体式3D表面测量仪
详细信息 SurPhase系列是整合了光源、物镜以及扫描台的整体式3D表面测量仪，基本指标与MicroPhase类似。其中SurPhase-HS是高速测量设备，测量时间＜2.5秒。标配扫描台为手动75mm x 50mm(X-Y)尺寸，其他尺寸或自动扫描台可订制。
GetPhase软件功能：
三维分析&测量――3D表面形貌图；表面轮廓图；台层高度 测量；2D测量；粗糙度；波纹图
数据采集&处理――自动标定；自动采集；自动处理；自动聚焦&曝光；范围任选功能；导航功能
数据输出&报告――项目报告归档与编辑；3D数据Excel格式输出；3D数据第三方软件输出；HTML格式
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