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独立于电镜真空系统之外、自带涡轮分子泵高真空单元的制样系统，具有低温冷冻、镀膜制样、样品传输以及随后的直接观察之先进功能。 众所周知，含水样品（如生物样品、食品、石油类样品）一般是在脱水干燥处理后再镀导电膜才能放入电镜观察。由于脱水干燥，观察到的图像有干瘪变形、结构失真等缺陷。那么，怎样才能实现对含水状态下（不用脱水干燥）的样品形貌进行直接观察呢？本系统针对该应用而设计，它匹配于包括场发射扫描电镜在内的当前所有种类的扫描电镜，其组件分别可将含水样品在电镜外部进行超低温冷冻、镀膜制样（喷金喷碳）等处理，然后通过特别设计的装置将样品传输到位于电镜内部腔室中的冷台（低温样品台）进行随后的观察，所有操作过程不用卸除电镜真空去打开电镜样品腔室。 本系统低温电镜技术是采用超低温冷冻(物理)方法制备生物样品；与常规电镜技术比较，可使样品既符合电镜分析的要求，又最大程度地维持样品在其生活时的生理状态（含水状态），所显示的超微结构更客观地反映了生物样品的自然生理状态。目前该技术已广泛地应用于细胞和分子水平的科学研究中，为准确分析和解决生命科学的一些问题提供了可靠的依据。只要配备了该系统，您的普通电镜立即改造成了一台能直接观察含水样品（无需脱水干燥）的低温扫描电镜！ 系统项目： 冷冻腔室，制样腔室，涡轮分子泵单元 控制单元: 溅射镀膜模块，镀碳模块，真空序列模块，涡轮泵控制单元，温度监控单元，膜厚监控器 传输单元: 带有整体闸阀的传输装置，样品托 扫描电镜组件:液氮，（标准）编织物传导的冷台，（可选）气体对流的冷台，闸阀通路 特点： ●遥控用户界面 ●遥控电子和系统操作 ●独立准备腔室 ●冷却刀探测装置 ●涡轮分子泵装置 ●低电压冷溅射头，可重复性高 ●碳丝闪蒸头 ●带闸阀的活退出传输单元 ●用于表面升华的辐射加热头 优点： ●电子遥控，冲突干扰低 ●独立制样，振动很小 ●高分辨率溅射镀膜（可选） ●冷却刀和探测装置产生冷冻破碎 ●适合任意类型扫描电镜 ●镀碳和镀金能够一起实现 ●容易在室温下进行显微镜操作 ●采用涡轮分子泵超清洁真空系统 ●样品能在显微镜中遥控升华 系统性能描述： 冷冻腔室 整体高真空腔室产生过冷液氮使样品急剧冷冻。抽真空时间为30秒。过冷液氮（雪泥）温度在-210oC。它装有与传输装置配套的定位圈以及过压安全减压阀。 制样腔室 全高真空腔室，轴向安装了涡轮泵抽气单元，并且带有独立动作、自锁、通路阀门、与传递装置配套的空间隔离抽气系统、合适位置的制样装置。涡轮分子抽气单元的‘轴’安装在制样腔室上，采用ISO63 全‘喉’型法兰，确保最大的抽真空效率。泵速为60L/秒。真空度优于1 x 10-5mbar。万一发生真空失灵事件时能关闭系统并安全泄压至大气，以免造成损坏。 制样腔室的冷台装有全冷防污染护罩。冷台具有4种工作状态，以及铜到铜的温度传导方式，冷台的温度维持在-170oC以下。 制样腔室的液氮杜瓦瓶：真空双壁结构，1升的内部容量，在大气压力下维持冷台温度保持不变状态可达60分钟，而不用‘开盖加注’或‘自动灌注’。（大约每天10升） 与制样腔室冷台相结合的升华台，带有温控和定时器。 带有冷冻‘刀片’的微调刀，高度可调，具有推/拉作用以及回程清洁样品的功能。 宏操纵器，带有冷却‘点’，中心位置可调。 标准溅射头：低能量输入；高分辩率。金靶（厚度0.1mm x 直径20mm。）作为标准配置。使用金靶，在20mA，100V直流电（平均值）溅射两分钟情况下，膜厚可达20nm，颗粒尺寸2nm。 样品升温不超过3oC/分钟。溅射针阀的真空控制范围在5x10-1到2x10-1mbar，由电磁阀支持。溅射头可选镀铬溅射头。 采用碳绳/碳线闪蒸技术的镀碳头，带有高真空涡轮分子泵抽真空系统，能给出精细涂层，并允许好几次碳绳蒸发而无需替换碳源。 控制单元 控制单元带有插入式电子模块和低压（24V直流）控制电路。 带袖珍小键盘的液晶显示器。控制器“黑匣子”处于远离键盘的位置。 溅射镀膜模块：可变沉积速度0-50nm/分钟（金），并且相应地控制电流0-50mA，溅射电压范围80-120伏直流均值，0-4分钟可重设置的沉积定时器。 蒸发镀碳模块：低电压交流20V电源用于碳蒸发，典型的是‘闪’一秒；0-50A的电表和0-20A可变的除气电流控制；使用低电压交流20V电源和0-20A可变电流控制的辐射加热器。真空顺序模块带有电磁阀和自动的涡轮泵前级压力互锁装置。制样腔室在0-1x10-5mbar内采用相应仪表连续真空监测。对系统的所有其它位置，自动选择相应的0-1x10-5mbar真空仪表监测。 涡轮控制单元：真空时序互锁，带有常规（高真空）指示以及故障状态读出。 温度监测单元：用于制样腔室冷台和扫描电镜冷台。设置控制点的范围在+50oC 到 -200oC，带有P.I.D.（比例积分微分）控制参数，并有数字显示，可控制+50oC 到 -200oC输入的冷台加热器，以及0-20分钟可调的定时，可控的全范围为-200oC 到 +400oC，精度优于+/- 1oC。 传输单元 传输腔室：主动抽真空系统，无污染应用。（在传输过程中真空优于1x10-2mBar。） 传递棒：具有绝热顶端，全独立运动，自锁阀门，以及空间隔离抽气装置。 样品托：抛光铜，具有良好的热传导特性和‘维持’性能。当不装在冷台上时，在传输活动过程中升温速度低于10度/分钟。容易应用于做纵向的，横向的，和碎裂物固定。 扫描电镜组件 液氮杜瓦瓶：界面匹配扫描电镜端口，具有促使冷台冷却和防污染护罩的作用。双壁间抽真空，1升的内部容量，在大气压力下维持冷台温度保持不变状态可达60分钟，而不用‘开盖加注’或‘自动灌注’。（大约每天10升） 标配冷台：采用编织物传导冷却方式。这种设计适合现有的扫描电镜样品台，带有绝热装置，能维持样品台进行所有合理的运动，液氮杜瓦瓶支持的铜编织传导冷却，可控的升华和定时。（典型的从室温20度冷却至-160度，大约30分钟。） 可选冷台：采用气体对流传导冷却。这种设计适合现有的扫描电镜样品台，带有绝热装置，能维持样品台进行所有合理的运动，液氮杜瓦瓶支持的铜编织传导冷却，可控的升华和定时。（典型的从室温20度冷却至-160度，大约20分钟。） 扫描电镜独立工作，自锁，通路阀门界面匹配扫描电镜端口，空间隔离抽真空系统与传递装置相配。 系统主要阀门 三个手动操作的通路阀门独立工作，自锁，以防止误操作。 技术规格： 仪器尺寸 - 450mm W x 350mm D x 175mm H 国际标准DIN 41494，全空气流动，E.M.C. 标准（电磁兼容性）。 主机配有： 工作腔室 - 直径130mm x 长度250mm，带有真空门阀门。 减水腔室