用途:
GPJ-300高倍硅片检测显微镜适用于对不透明物体进行显微观察。仪器配置落射照明 、长距平场消色差物镜、大视野目镜,图像清晰、衬度好,同时还配有内置偏光观察装置。本仪器可用于鉴别和分析各种金属和合金材料及非金属物质的组织结构,广泛应用于电子、化工和仪器仪表行业观察不透明的物质。如金属太阳能板、多晶硅、单晶硅、太阳能硅片检测测、集成电路、电子芯片、电路板、液晶板、镀涂层,及其它非金属材料,对一些表面状况进行研究分析的工作等。本仪器系大专院校,科研机构,工厂等的理想仪器。
系统组成简介:
GPJ-300电脑高倍硅片检测测显微镜 GPJ-300S数码型高倍硅片检测显微镜成像系统是通过光电转换与计算机,数码相机以及电视机等设备结合在一起,不仅可以在目镜上观察,还能在显示屏幕上观察实时动态图像,还可在计算机,数码相机上将所需要的图片进行编辑、保存和打印。
性能特点:
l 配置大视野目镜和长距平场消色差物镜,视场大而清晰。
l 粗微动同轴调焦机构,粗动松紧可调,微动格值:2μm。
l 带限位锁紧装置
l 6V 20W卤素灯,亮度可调。
l 三目镜筒,可自由切换正常观察,可进行100%透光摄影
技术参数:
平场目镜
放大倍数(X)
视场(mm)
10X
Φ18
平场消
色差物镜
放大倍数(X)
数值孔径
工作距离(mm)
5X
0.12
18.3
10X
0.25
8.9
40X
0.60
3.7
60X
0.85
0.26
光学放大倍数
50X 100X 400X 600X
系统参考放大倍数
50X-3000X
目镜筒
三目镜,倾斜30˚ 瞳距调节范围:53-75mm
照明系统
落射照明器,6V/20W卤素灯,220V(50Hz)亮度可调具
偏光装置
三目头内置检偏振, 可插入式起偏振片,垂直照明装置,
调焦机构
粗微动同轴调焦,粗动松紧可调,带锁紧和限位装置 微动格值:0.002mm。
转换器
四孔(内向式滚珠内定位
滤色片组
黄色、蓝色、绿色、磨砂玻璃
载物台移动范围
X方向:75mm ; Y方向50mm
仪器选配件:
l 目镜:5X 20X 10X分划
l 物镜:20X 50X 80X 100X(油)
l 动态检测软件GM-2000V
l 二维图像测量软件GM—2000M
电路板检测显微镜GMP-100,硅片检测显微镜