点击图片查看原图
气体质量流量控制器M3030V，采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量，无需温度压力补偿。气体质量流量控制器M3030V是一个可以手动设定或与电脑连接自动控制的气体流量的稳流装置，能在较宽的量程范围内快速而精确地控制气体流量。即使系统压力有波动或环境温度有轻微的变化，也不会影响其正常的工作。
|
小流量气体质量流量控制器M3030V产品亮点： |
|
-类 型：MFC气体质量流量控制器 -控制范围：10sccm ～ 30slpm (sccm:标准毫升/分 slpm:标准升/分) -准度等级: ±1% F.S -耐 压：≤90bar -标准接口：0-5VDC，4-20mA可选 -响应时间：≤2sec -使用范围：2~100% for max range -供电电源：+15~+28Vdc, 350Ma -漏 率：1×10-9atm·cc/sec -气路连接：1/4”SWG，1/8”SWG，3/8”SWG，1/4”VCR |
|
-适用介质：所有气体（含腐蚀性气体和有毒气体） -无需温度、压力补偿 |
小流量气体质量流量控制器M3030V
|
应用领域：
－分析仪器 －干刻（RIE/DRIE） －燃料电池
－生物技术 －气相色谱分析 －等离子刻蚀
－激光焊机 －混气配气系统 －微反应装置
－真空镀膜 －过程自动化 －石化工业