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一、 电镜主机
（一） 镜筒部分
1. 镜筒
电子枪为自给偏压三极电子枪，钨丝阴极。栅帽到阳极的距离可调，特别适合低加速电压工作的需要，并可在外部进行对中调整。还设有电磁对中调整。电子光学镜筒为三级电磁透镜（两个聚光镜，一个物镜）。采用国际领先技术算法设计的锥形物镜，在获得高质量电镜图象的同时，使配接的能谱仪信号采集效率大幅提高。在透镜中间有真空密封的电子束通道管，以利于清洗。物镜光阑为外部可调的三个光阑。整个镜筒由坡莫合金罩屏蔽。二次电子象分辨率优于3.0nm。
2. 翻开式电子枪
具有大翻开角，使更换灯丝轻松、方便。
3. 专用大样品室和大样品台
样品室内部尺寸：Φ300×280mm。设有8个接口，可装配背反射电子探测器、X光能谱仪和X光波谱仪等多种探测器同时使用。
样品台位移X=80mm，Y=60mm，Z=50mm，可连续旋转360°，倾斜范围0～90°，可观察样品Φ80mm，最大样品Φ110mm。
4. 高真空镜筒隔断阀
该阀用于更换样品时切断电子枪及样品室通道，保证电子枪始终处于高真空状态，缩短换样品时间，降低换样品时对系统的污染程度。
（二） 电气控制柜
1. PC计算机及操作系统
采用XP操作系统，用于管理整个系统。图象可随时存储在机内的大容量硬盘及软盘上，或输出由打印机打印。
2. 图象显示系统
实现1024×768显示方式。图像具有256个灰度等级，图像层次丰富细致，可在图象上进行字符编辑，标记显示，实时显示放大倍数，μ标尺，加速电压，还可显示各种灰度曲线，处理结果，同屏显示实时图像或多幅图像并可显示各种不同处理后的结果。
3. 图象采集系统
该系统可对SEM的二次图像、背反射图像进行采集。通过软件编程，可实现对视频进行调解，以达到对用户有用信号幅值进行256个灰度级的数字量化。
4. 图象处理模块
采用现场可编程逻辑控制器件，可实现实时滤波功能，具有体积小，速度快，功能强的特点。
5. 图像、菜单采用17”彩色显示器显示
6. 放大倍数，工作距离自动修正，数字实时显示及CRT实时显示
放大倍数 5～300,000倍
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