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形号 |
Sol161 |
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量测行程 |
160x160x160mm |
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外形尺寸 |
545x705x775mm |
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重量 |
55kg |
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承载重量 |
9kg |
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平台材质 |
铝合金 |
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基座材质 |
铝合金 |
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传动方式 X&Y |
Steel Cross Roller Bearings |
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XY 精度 |
U=(2.8+L/150)μm |
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Z 精度 |
U=(2.8+L/100)μm |
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XY 重现性 |
U=2.8μm |
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Z 重现性 |
U=2.8μm |
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光学尺分辨率 |
1.0μm |
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影像 |
高分辨率彩色系统 |
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光源 |
轮廓光,表面光,同轴光 |
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光学系统/放大倍率 |
6.5:1 光学 Zoom, 0.7-4.5x |
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量测系统 |
InSpec for Windows Metrology Software |
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工作环境 |
20℃±2°,30-80% 湿度 |
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电源系统 |
93-264VAC, 47-63Hz, 10Amp |
Sol161