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型号 |
SV120 |
SV130 |
SV140 |
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量测行程（X/Y/Z) |
200x150x150mm |
300x200x150mm |
400x300x200mm |
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外观尺寸（L/W/H) |
600x600x910mm |
700x700x940mm |
750x900x1100mm |
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整机重量 |
165kg |
225kg |
465kg |
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机台负重 |
20kg |
25kg |
30kg |
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床台材质 |
钢质-表面硬化防刮处理 |
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基座材质 |
花岗石基座 |
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X/Y精度 |
Uxy=3.0+L/150μm |
Uxy=3.0+L/150μm |
Uxy=3.0+L/150μm |
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Z精度 |
Uz=3.0+L/100μm |
Uz=3.0+L/100μm |
Uz=3.0+L/100μm |
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X/Y重现精度 |
Uxy=3.0 |
Uxy=3.0 |
Uxy=3.0 |
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Z重现精度 |
Ux=3.0 |
Ux=3.0 |
Ux=3.0 |
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光学尺分辨率 |
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摄影机 |
高分辨率彩色CCD, 768x494 Pixel Array |
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轮廓光源 |
LED,可调整式 |
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表面光源 |
LED环型光源，可调整式，三环光 |
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镜头 |
无段变倍镜头（0.75～5X) |
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量测软件 |
QM-2800几何量测软件（可选用其它量测软件） |
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μ-Star sv-120