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型号 |
Vertex251 |
Vertex12x12 |
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XY 精度 |
Uxy=2.0+L/250 |
Uxy=2.6+L/175 |
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Z 精度 |
Ux=2.5+L/150 |
Ux=3.0+L/150 |
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XY 重现性 |
2.0μm |
2.5μm |
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Z 重现性 |
2.0μm |
2.0μm |
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XY 加速度 |
500mm/S2 |
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Z 加速度 |
200mm/S2 |
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XY 移动速度 |
250mm/s |
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Z 移动速度 |
100mm/s |
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光学尺分辨率 |
1.0μm, 0.5μm, 0.1μm |
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量测行程 |
200x150x150mm |
300x300x150mm |
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外形尺寸 |
760x635x965mm |
1090x865x990mm |
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重量 |
60kg |
125kg |
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承载重量 |
7.5kg |
12kg |
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基座材质 |
铝合金(花岗岩选购l) |
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传动方式 |
Unique Monorail X & Y Design, Monorail Linear Z |
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电控系统 |
伺服系统: CNC, 鼠标, 摇杆 |
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光学系统 &放大倍率 |
12:1 光学 Zoom, 17-410x 或 6.5:1光学 Zoom, 20-250x |
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影像 & 光源 |
红光LED (黑白系统)或白光 LED(彩色系统) |
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软件 |
InSpec for Windows Metrology Software |
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工作环境 |
20℃±2°,30-80% 湿度 |
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Vertex251光学投影机