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表面轮廓测量装置基本技术参数 :
基座尺寸 （W x D）: 600 x 450mm
基座材料 : 花岗岩
尺寸 （W x D x H）: 756 x 482 x 966mm （主机）
重量 : 140kg （主机）
电源 : 100 – 240V AC ±10%, 50/60Hz
能耗 : 400W （主机）
技术参数 :
表面轮廓测量装置X1 轴
测量范围 : 100mm
分辨率 : 0.05µm
驱动速度 : 0 - 80mm/s 外加手动
测量速度 : 0.02, 0.05, 0.1, 0.2mm/s（在表面粗糙度测量时）
0.02, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2mm/s（在轮廓测量时）
测量方向 : 向前／向后
直线度 : 0.2µm/100mm （0.4µm/100mm: 在轮廓测量时）
* 以 X1 轴为水平方向上
指示精度 （20?C）: ±（0.8+0.01L）µmL = 驱动长度 （mm）
倾斜范围 : ±45?
表面轮廓测量装置Z1 轴
测量范围 : 5mm
分辨率 : 80nm （5mm 范围）8nm （0.5mm 范围）0.8nm （0.05mm 范围）指示精度 （20?C）: ±（1.5+I2HI/100）µm
H 为基于水平位置的测量高度 （mm）
测力 : 0.75mN
跟踪角度 : 向上 : 65?, 向下 : 65?（使用配置的标准测头，依表面粗糙度而定）
测针针尖 （标准型）: 金刚石针尖 ,
针尖角度 : 60?, 尖端半径 : 2µm
测针针尖 （圆锥）: 蓝宝石针尖 ,
针尖角度 : 30?, 尖端半径 : 25µm
测针方向 : 向下
表面轮廓测量装置Z2 轴 （立柱）
立柱移动 : 300mm
分辨率 : 1µm
驱动速度 : 0 - 20mm/s 外加手动
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