-145℃水汽捕集泵
-145℃ Water vapor cryopump
-145℃ Water vapor cryopump
冷凝盘管的制作
根据设备的实际情况,我们可以为您制作不同形状的冷凝盘管。
输入、输出的接口
冷凝盘管从真空腔内穿过腔壁时,由于管道温度与腔壁温差较大,如果直接焊接,冷量将会有较大损失,腔壁结霜严重。这就需要一个长约20厘米的薄壁不锈钢管做成的绝热装置来解决,它可以做成活口(见图),也可以不用密封垫,直接焊接到真空腔壁。
-145℃水汽捕集泵
-145℃ Water vapor cryopump(Polycold)
(提供Polycold冷媒及维修)
水汽捕集泵又称:POLYCOLD、快速循环水汽深冷泵
应用原理:
在使用油扩散泵的高真空环境中都存在着一定的残余气体,80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽,但其抽除残余气体的能力低,时间长,而且所有残余气体还是工件的污染源,从而使产品的产量和质量受到影响。深冷泵则是解决这类问题的上佳选择。
深冷泵的工作原理:将一个能到-120℃以下的制冷盘管,放置在真空室中或油扩散泵的泵口,通过其表面的低温冷凝效应,迅速捕集真空系统的残余气体。从而大大缩短抽真空的时间(可缩短60-90%的抽气时间)、获得洁净的真空环境(真空度可提高半个数量级,达到10-8 Torr、 10-5 Pa)。
在实际应用当中,根据所放的位置不同可以分为两类
1、水汽捕集器
它的制冷盘管经常被安装在高阀与真空腔之间或真空腔内、卷绕镀膜上下室内等部位。适用于塑料低温镀膜、卷绕镀膜等被镀膜材料放气量较大的场合。盘管需要有加热除霜装置,使盘管每次开门之前恢复到常温,避免低温盘管从大气中吸收大量的水汽而结霜,影响下次抽真空。
2、低温冷阱
放在油扩散泵的泵口,高阀以下,它主要功能是防止油扩散泵返油,同时也可以加快抽速、提高真空度。由于系统处于真空状态,无需除霜装置。
根据需要,二者可以分别安装也可以同时安装.
本公司研发生产的-145℃深冷水汽捕集泵,采用单台压缩机、自动复叠制冷方式、进口名牌压缩机及制冷配件、环保混合型制冷剂生产,替代液氮,节约成本。具有制冷速度快、效率高、温度低、维护方便等特点,其性能指标在国内处于领先地位,达到甚至超过国际先进水平。
主要的性能特点
1、快速吸附水、油蒸汽、可缩短排气时间60-90%;
2、降温迅速,3分钟内制冷到-120℃,最低可到-150℃;
3、2分钟热气除霜,迅速回温,5分钟可再降温;
4、一台设备可设计两路负载输出;
5、进口压缩机,环保混合型制冷剂;
6、完善的自动化控制;
7、具有两路负载入口和出口温度显示、本机温 度显示;
8、当待机温度到达后有指示灯提示,可以开始制冷;
9、除霜温度自由设定;
10、具有水温温度、排气温度显示;
11、缺水、水温过高报警;
12、压缩机排气过高、压力过高保护;
13、电源断电、缺相报警;
14、可本地、远程控制自由转换;
15、R232计算机数据接口,计算机可读取温度数据及控制。
型 号
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TH-145-3P
|
TH-145-5P
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TH-145-7P
|
TH-145-10P
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TH-145-12P
|
TH-145-15P
|
压缩机功率(KW)
|
2.8
|
4.6
|
6.3
|
8.5
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10.1
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12.3
|
工作温度(℃)
|
-120℃至-150℃
|
|||||
抽气速度(l/s)
|
30600
|
51000
|
73,000
|
101,000
|
153,000
|
250,000
|
制冷量(W)
|
300
|
500
|
1200
|
1800
|
2500
|
3500
|
冷凝管表面积(m2)
|
0.15
|
0.3
|
0.5
|
0.7
|
1.2
|
2. 0
|
冷凝管长度
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8m,φ6mm
|
10m,φ10mm
|
12m,φ12mm
|
14m,φ16mm
|
24m,φ16mm
|
40m,φ16mm
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预冷时间(min)
|
≤30
|
≤30
|
≤30
|
≤30
|
≤40
|
≤40
|
降温时间(min)
|
≤3
|
≤3
|
≤3
|
≤3
|
≤4
|
≤5
|
除霜时间(min)
|
≤3
|
≤3
|
≤3
|
≤3
|
≤3
|
≤3
|
再降温时间(min)
|
≤5
|
≤5
|
≤5
|
≤5
|
≤6
|
≤6
|
适用油扩散泵径(mm)
|
≤300
|
≤500
|
≤800
|
≤1000
|
双路输出
|
双路输出
|
冷却方式
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风冷、水冷(t≤30℃)
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水冷(t≤30℃)
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水冷(t≤30℃)
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水冷(t≤30℃)
|
水冷(t≤30℃)
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